경기 화성시에 위치한 히팅스퀘어는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 가열하고 정밀하게 온도를 제어하는 세라믹 히터를 전문적으로 개발하고 생산하는 기업입니다.
세라믹 기판을 주원료로 하여 정밀 가공 및 조립 공정을 거쳐 제품을 완성합니다. 2025년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며 제조시설 면적은 720㎡입니다.
반도체 제조 공정에 필수적인 열 제어 부품으로 포토공정을 비롯해 세정, 패키징, 검사 공정 전반에 공급됩니다.
포토 베이크 히터는 반도체 포토공정에서 웨이퍼의 온도를 일정하게 유지하는 핵심 장비입니다. 튜브 히터는 반도체 공정 내 특정 구간을 가열하는 데 쓰이며, 본더 히터는 반도체 패키징 단계에서 부품을 결합할 때 필요한 열을 제공합니다.
열역학 기술을 기반으로 알루미늄 나이트라이드(AlN)와 실리콘 카바이드(SiC) 등의 소재를 다루며 세라믹 히터의 균일한 온도 분포를 구현하는 기술을 보유하고 있습니다. SUS304 및 쿼츠 재질을 활용한 히터 제작 역량도 갖추고 있습니다.
정밀 온도 제어를 위한 히팅 존 설계 기술과 센서 통합 기술을 갖추고 있으며 2024년 설립 이후 반도체용 세라믹 히터 분야로 사업을 확장해 왔습니다. 울산광역시에 본사를 두고 화성시 동탄에 추가 사업장을 운영 중입니다.