대구 북구에 있는 (주)아이브이티는 반도체와 디스플레이 제조 공정에 필수적인 진공 장비 및 정밀 부품을 생산하는 기업입니다. 여기서 만드는 진공 장비와 부품은 초고진공 환경을 구현하여 반도체 웨이퍼나 디스플레이 기판의 오염을 측정하고 분석하는 데 쓰이는 첨단 설비입니다.
원자재를 정밀하게 가공하고 조립하는 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 2011년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며 제조 시설은 270.9㎡ 규모입니다.
이 회사가 만드는 것 가운데 진공·챔버·세정 품목은 전국에 313곳, 대구 북구 4곳 있습니다.
반도체와 디스플레이 산업 현장에 쓰이는 장비로, 공정 내 불순물을 측정하거나 박막을 증착하는 등의 핵심 공정에 활용됩니다.
주요 제품은 승온탈리분석기(TDS)로 반도체 웨이퍼나 디스플레이 재료의 온도를 높여 탈리되는 가스를 분석하여 불순물을 검사합니다. 웨이퍼용 fTDS는 300mm급 웨이퍼의 정성·정량 분석이 가능하며, 금속 샘플용 sTDS는 1,400℃ 고온 환경에서 수소 취성 등을 분석합니다. 또한 진공 증착 장비인 E-beam Evaporation System과 DC Magnetron Sputter를 통해 기판에 금속 및 비금속 물질을 증착하며, 이 외에도 반도체용 퍼니스와 케미컬용 밸브, 고객 설계 사양에 맞춘 맞춤형 진공 챔버를 공급합니다.
진공 환경에서 저항 열이나 플라즈마를 이용하여 물질을 증착하는 진공 증착 공법과 극미량의 가스를 측정하는 분석 기술을 보유하고 있습니다. 특히 온도와 시간에 따른 기체 조성 변화를 정밀하게 정량·정성 분석하는 기술을 사용하며, 초고진공 환경 유지 및 정밀 제어 설계를 통해 10^-10mbar 수준의 진공도를 구현합니다. 연구소와 공동 프로젝트를 통해 정밀 부품 제작 및 첨단 진공 장비 제작 기술을 고도화하고 있습니다.
2008년 설립되었으며, 2011년 현재의 공장을 등록하여 운영 중입니다. 보유한 설비로는 고진공 펌프 시스템, 적외선 가열 장치(IR Heating System), 질량 분석기(QMS) 등이 있으며 대량의 샘플을 정밀하게 처리할 수 있는 제조 환경을 갖추고 있습니다. 기술 개발 이력으로 2018년 세계 최초 클러스터형 웨이퍼 불순물 정량 분석 장비 개발 및 다수의 TDS 시스템 선진화 기술을 확보하였습니다.