경북 영주시에 위치한 SK 스페셜티는 반도체와 디스플레이, 태양전지 제조 공정에 필수적으로 사용되는 고순도 특수가스와 화학 소재를 생산하는 기업입니다.
AHF, 텅스텐 파우더 등 주요 원자재를 활용하여 정제 및 합성 공정을 거쳐 산업용 가스를 생산합니다. 1996년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조시설 면적은 44,039.4㎡에 달합니다.
이 회사가 만드는 것 가운데 산업용가스 품목은 전국에 429곳, 경북 영주시에 2곳 있습니다.
반도체와 디스플레이의 미세 공정 및 박막 증착에 쓰이는 핵심 소재를 공급하며, 플랜트 및 의료·헬스케어 등 다양한 산업 분야의 기반 소재로 나갑니다.
주요 제품으로는 반도체 세정 공정에서 챔버 내부 잔류물을 제거하는 세정용 가스인 NF3(삼불화질소), 반도체 제조 시 메탈 컨택 및 게이트를 형성하는 증착 가스인 WF6(육불화텅스텐), 저온 박막 증착에 사용되는 Si2H6(다이실란)이 있습니다. 이외에도 반도체 절연막 등을 형성하는 SiH4(모노실란), 표면 장력이 낮아 웨이퍼 불순물 제거에 효과적인 초임계 이산화탄소, 에칭 공정에 쓰이는 C4F8(옥타플루오로사이클로부탄), 그리고 정밀한 공정 제어를 돕는 크립톤(Krypton) 등을 생산합니다.
화학물질의 정제와 고순도 합성 기술을 바탕으로 반도체 소재의 순도를 높이는 공법을 운용합니다. 특히 초고순도 가스를 안정적으로 제조하기 위한 반응기 설계 및 가스 합성 기술을 보유하고 있으며, 통합 분석 센터를 통해 제품의 화학적 안정성과 품질을 엄격히 관리합니다. 공정 중 발생하는 불순물을 제어하고 특정 두께의 박막을 균일하게 형성할 수 있도록 재료의 배합비를 최적화하는 연구를 지속하고 있습니다.
가스 합성과 정제를 위한 다수의 전용 생산 라인과 대규모 저장 설비를 갖추고 있습니다. 1982년 설립 이후 2001년 NF3 국산화 성공을 기점으로 성장을 거듭해 왔으며, 2016년 사명 변경을 거쳐 2022년 현재의 사명으로 새롭게 출범하였습니다. 경북 영주 본사를 중심으로 국내외 다수의 사업 거점을 운용하며 소재 플랫폼 역량을 강화하고 있습니다.