경기 안산시에 있는 다원파워트론은 반도체 공정에 쓰이는 플라즈마 파워 제너레이터와 정밀 전원 장치를 제조합니다. 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 정밀하게 가공하기 위해 필요한 플라즈마 상태를 제어하고 공급하는 핵심 전력 장비를 개발하여 생산합니다.
구리 자재와 PCB 등의 원료를 받아 프레스 및 판금 작업을 거쳐 외함을 구성하고, 세부 부품을 정밀 가공하여 조립하는 공정을 수행합니다. 2025년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며 제조 시설 면적은 972.9㎡입니다. 변압기 및 전력 변환 품목을 만드는 공장 834곳 가운데 제조 시설 넓이는 상위 25%에 해당합니다.
이 회사가 만드는 것 가운데 변압기·전력변환 품목은 전국에 1964곳, 경기 안산시 62곳 있습니다.
이 제품들은 초미세 반도체 공정에 쓰이는 플라즈마 발생기 등에 장착되어 에너지 및 발전 산업, 신재생에너지 관련 설비, 그리고 건설·건축 분야의 장비 제어 시스템에 활용됩니다.
주력 제품인 테일러드 파형 제너레이터(Tailored Waveform Generator)는 반도체 양산 공정에서 플라즈마 파형을 정밀하게 제어하는 장비입니다. 저전압 정밀 파형 제너레이터는 TSV, ALE, ALD 등 도체 식각 공정에 쓰이며, 고전압 제너레이터는 유전체 식각 공정에 활용됩니다. 또한 특수 전원 장치는 반도체 장비 내에서 일정한 전력을 공급하여 안정적인 공정 환경을 유지하는 역할을 합니다.
DTG™라 불리는 정밀 파형 제어 기술을 통해 플라즈마를 다루며, CW 모드 또는 펄스 모드에서 400kHz 출력 제어가 가능합니다. 금속 가공부터 시작해 내부 회로 기판을 포함한 전기적 구성을 직접 조립하며, 반도체 공정용 고전압 전력 사양에 맞춘 맞춤형 웨이브폼 설계 기술을 보유하고 있습니다.
안산의 본사 및 제1공장과 더불어 2026년에는 생산 능력 확대를 위해 화성 제2공장을 설립했습니다. 초미세 반도체 공정을 위한 제어 솔루션 개발에 주력하고 있으며, 생산 라인에 필요한 판금 및 프레스 설비와 정밀 전원 조립 시스템을 갖추고 있습니다.