충북 청주시에 있는 차고엔지니어링은 반도체 제조 공정에 필요한 냉각엔진을 생산하는 기업입니다. 이 장치는 반도체 설비 내부에서 극저온 상태를 유지하거나 정밀한 온도 조절이 가능하도록 돕는 온도 제어 솔루션입니다.
스테인리스강인 SUS304와 SUS316, 그리고 냉매로 사용하는 헬륨을 주요 재료로 사용하여 정밀 가공과 조립 공정을 거쳐 제품을 만듭니다. 제조 시설은 868.6㎡ 규모로 갖추고 있으며, 2024년부터 이 자리에서 공장을 운영하고 있습니다.
이 회사가 만드는 것 가운데 내연기관·엔진 품목은 전국에 586곳, 충북 청주시에 6곳 있습니다.
반도체 공정 장비 내부에 탑재되는 핵심 부품이라 기계·산업장비 분야는 물론 자동차·모빌리티 및 조선·해양 산업의 냉각 시스템에도 적용됩니다.
주력 생산품은 친환경 냉매인 헬륨을 활용한 극저온 냉각장치인 헬륨 냉각 시스템입니다. 모델 Marble-1.0L은 영하 200도에서 영하 20도 사이의 온도 구간을 제어하며 250W에서 350W까지 냉각 용량을 제공합니다. Marble-1.0A는 분당 150리터에서 450리터까지 유량을 조절할 수 있으며, Marble-1.0C는 영하 150도 환경에서 150W의 냉각 성능을 발휘합니다. 모든 제품은 반도체 공정 장비에 빌트인 형태로 설치 가능하며, 사용자의 요구 사양에 맞춘 특주 개발을 지원합니다.
프레온 가스를 배제한 헬륨 기반의 극저온 냉각 기술을 핵심 공법으로 삼고 있습니다. 자체 연구개발 공간인 LAB을 운영하며 고효율·소형화 시스템을 설계하고 불소 성분이 없는 친환경 냉각 유체를 다룹니다. 설계부터 제작, 냉각 성능 평가 및 기술 결과 보고서 발행까지 전 과정을 수행하며 반도체 공정의 탄소 중립을 위한 기술을 연구합니다.
2019년 설립 이후 꾸준한 성장을 거쳐왔으며, 2022년 청주로 본사를 이전하고 연구소를 확장했습니다. 경기도 화성에 지사를 두고 있습니다. 보유 설비를 통해 크라이오 엔진 및 다양한 액체·공랭식 칠러를 양산하고 있으며, 2024년부터는 터보 브레이튼 기술 개발을 시작했습니다.