경기 김포시의 지성에프티는 반도체 제조 공정과 첨단 소재 연구에 필수적인 진공 장비 및 관련 시스템을 전문적으로 제작합니다. 이 장비들은 진공 상태에서 박막을 증착하거나 정밀한 열처리를 수행하여 반도체와 디스플레이 등 산업 전반의 공정 효율을 높이는 역할을 합니다.
정밀 가공과 조립 공정을 거쳐 장비를 생산하며, 2019년부터 김포양촌일반산업단지 내 이젠아파트형공장에서 운영되고 있습니다. 제조 시설과 건축 면적은 201.7㎡ 규모로 조성되어 있습니다.
이 회사가 만드는 것 가운데 진공·챔버·세정 품목은 전국에 313곳, 경기 김포시에 5곳 있습니다.
반도체와 디스플레이 산업 분야에 폭넓게 적용됩니다. 특히 박막 증착과 표면 처리 공정에 필요한 장비로서 공장 자동화 라인 및 연구개발 현장으로 공급됩니다.
DLC 코팅 시스템은 탄화수소 가스를 활용해 표면에 다이아몬드상 탄소 막을 입히는 장비로 마찰 감소와 내구성을 강화할 때 쓰입니다. RTA 시스템은 기판을 빠르게 가열하여 신소재 물성을 제어하는 열처리 장비이며, 반응성 이온빔 시스템은 정밀한 에칭과 표면 개질 작업을 수행할 때 사용합니다.
화학 기상 증착법인 PECVD 기술과 물리적 기상 증착법인 PVD를 모두 다루며, 자체 개발한 DC 및 양극 이온 소스를 적용해 박막의 특성을 제어합니다. 진공 챔버 내부에서 가스 반응이나 물리적 충격을 유도하는 공정을 직접 수행하며, 금속 증착과 탄화물 코팅 등 다양한 박막 증착 서비스를 제공합니다.
하이브리드 증착 시스템을 갖추어 운용하고 있으며 직경 300mm의 코팅 영역과 8축 제어 설비를 보유하고 있습니다. 2018년부터 연구개발을 시작해 진공 기반 시스템 기술을 고도화해 왔습니다.