대전 유성구 대덕연구단지에 위치한 나노시스템은 반도체, 디스플레이, 고밀도 PCB 제조 과정에서 제품의 미세한 형상과 표면 상태를 검사하는 비접촉 3차원 측정기를 제작합니다.
정밀 가공 및 조립 공정을 통해 측정 시스템을 제작하며, 2008년부터 현재의 대전 유성구 공장에서 운영되고 있습니다. 제조시설 면적은 1450.9㎡입니다.
반도체 패키지, 디스플레이 공정, 그리고 최근에는 바이오 분야까지 확장되어 세포 측정 및 분석 등 정밀 검사가 필요한 산업 현장에 폭넓게 사용됩니다.
주력 제품으로는 표면 형상을 측정하는 비접촉 3D 표면 프로파일러와 고속 측정 시스템인 NV-F 시리즈, PCB 기판 전용 측정기인 NSF 시리즈가 있습니다. 또한, 살아있는 세포의 상태를 실시간으로 관찰하고 분석할 수 있는 라이브 셀 이미징 시스템인 CellPro 제품군도 제공하고 있습니다.
백색광 간섭계를 활용하여 미세 영역을 정밀하게 측정하는 비접촉 방식의 기술을 보유하고 있습니다. 이 기술은 광학계 설계 및 조합을 통해 대면적 측정과 빠른 측정 속도를 구현하며, 반도체 IC 기판의 미세 패턴 형상이나 나노 레벨의 표면 거칠기를 측정하는 데 사용됩니다. 제품의 신뢰성을 확보하기 위해 자체적인 광학계 설계와 데이터 분석 알고리즘 연구를 지속하고 있습니다.
2003년 설립된 이래 2008년 현재의 대전 유성구 테크노밸리 공장을 완공하며 이전하였습니다. 중국 선전 지사를 운영 중이며, 한국기계연구원 패밀리 기업 협약 등을 통해 기술력을 다져왔습니다. 초고속 3D 측정기 및 PCB 전용 측정 시스템 출시 등 지속적인 제품군 개발을 이어오고 있습니다.