경북 구미시에 위치한 (주)유니플라즈마는 반도체와 디스플레이 공정에 필수적인 진공설비를 전문적으로 제조하는 기업입니다. 이 설비는 고진공 상태를 유지하여 박막을 입히거나 정밀한 표면 처리가 필요한 공정 장비의 핵심적인 역할을 수행합니다.
금속 등의 원자재를 활용하여 정밀가공과 조립 공정을 거쳐 설비를 제작합니다. 제조시설 면적은 815.2㎡이며, 2018년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔습니다. 같은 품목을 만드는 공장 180곳 가운데 제조시설 넓이는 상위 50%에 해당합니다.
이 회사가 만드는 것 가운데 진공·챔버·세정 품목은 전국에 313곳, 경북 구미시에 10곳 있습니다.
주로 반도체 및 디스플레이 제조 산업 현장에 투입됩니다. 이 장비들은 고도의 정밀도를 요구하는 코팅 공정 및 진공 시스템 라인에 배치되어 사용됩니다.
주력 제품인 진공설비는 반도체와 디스플레이 공정에서 Sputtering 설비 및 Arc 설비로 활용됩니다. 이 설비들은 대형 코팅 공정에 주로 쓰이며, 박막 증착이나 표면 처리를 안정적으로 수행하는 데 목적이 있습니다. 또한 진공 환경을 조성하는 진공 챔버와 플라즈마 소스 등을 함께 다룹니다.
다양한 코팅 설비를 직접 운영해 본 경험을 바탕으로 공정 설비를 설계하고 제작합니다. 로봇 시스템을 활용한 레이아웃 개선과 시스템 통합 기술을 갖추고 있으며, Low-E, ITO, Metal, AR 스퍼터링 공정 등에 최적화된 설비를 제작합니다. 특히 설비의 개조 및 개선 기술을 보유하여 공정 효율을 높이는 데 기여합니다.
진공 챔버, 플라즈마 소스, 롤 러닝 머신 및 원통형 진공 제작 설비를 갖추고 있습니다. 코팅 설비 제작을 위한 다양한 규모의 환경을 확보하고 있으며, 2011년에 기업 활동을 시작하여 구미 본사에서 설비 설계부터 제작, 설치까지 일괄 지원하고 있습니다.