경기 용인시에 위치한 퓨젠은 반도체 및 디스플레이 공정 장비에 필수적인 진공 밸브를 설계하고 제작합니다. 진공 밸브는 반도체 제조 라인의 챔버 내부를 외부와 차단하거나 진공 상태를 유지하여 공정 효율을 높이는 핵심 부품입니다.
알루미늄 가공품을 주요 원자재로 사용하여 정밀 가공과 조립 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 2022년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조시설 면적은 1440㎡ 규모입니다. 해당 품목을 생산하는 공장 180곳 가운데 제조시설 넓이는 상위 25%에 해당합니다.
이 회사가 만드는 것 가운데 진공·챔버·세정 품목은 전국에 313곳, 경기 용인시에 7곳 있습니다.
반도체 제조 장비 및 공장 자동화 라인의 핵심 부품으로 공급되어 반도체와 디스플레이 산업 전반에 쓰입니다.
락커 밸브(Rocker Valve)는 에어락 및 PM 공정 환경에서 챔버를 개폐하는 장치입니다. 듀얼 L-모션 밸브(Dual L-Motion Valve)는 장비 내 동작 효율을 높이기 위해 설계된 구동 부품입니다. 이 외에도 다양한 장비용 예비 부품을 공급하며 분해, 수리, 조립 및 테스트를 포함한 장비 리퍼비시 서비스를 제공합니다.
진공 밸브의 하우징 가공부터 구동부 조립까지 전 과정을 직접 수행합니다. 특히 비접점식 센서를 적용하고 액추에이터 교체 시 일부 구역만 작업이 가능하도록 설계하여 장비의 가동 중단 시간을 최소화하는 기술을 보유하고 있습니다. 알루미늄 가공을 중심으로 정밀 조립 공정을 거쳐 높은 신뢰도의 부품을 생산합니다.
진공 챔버 및 반도체 장비 정밀 가공을 위한 설비를 갖추고 있습니다. 2022년 용인테크노밸리일반산업단지에 공장을 등록한 이후 현재까지 반도체 장비 부품 및 유지보수 전문 기업으로 운영되고 있습니다.