경기 수원시에 위치한 (주)제이하라는 반도체 제조 공정에 필수적인 플라즈마 소스 모듈과 각종 반도체 장비를 제작하는 기업입니다. 반도체 장비는 웨이퍼 위에 회로를 그리거나 막을 입히고 불필요한 부분을 깎아내는 등 반도체 칩 생산의 핵심적인 공정을 수행하는 설비입니다.
알루미늄과 세라믹을 주요 원자재로 사용하여 부품을 가공하고 이를 정밀하게 조립하는 공정을 거칩니다. 제조 시설은 169.0㎡ 규모로 운영되고 있으며 2010년부터 해당 자리에서 공장을 가동해 왔습니다.
이 회사가 만드는 것 가운데 반도체 제조장비 품목은 전국에 2091곳, 경기 수원시에 62곳 있습니다.
반도체 제조 공정의 핵심 장비로 활용되어 반도체 생산 라인의 증착, 식각 등 주요 공정 단계에서 나갑니다.
PECVD는 화학 기상 증착 장비로 웨이퍼 표면에 박막을 입히는 데 사용합니다. PEALD는 원자층 증착 장비로 나노 단위의 미세한 박막을 균일하게 형성할 때 쓰이며, Dry Etcher는 플라즈마를 이용하여 반도체 회로 패턴을 깎아내는 식각 장비입니다. 이 외에도 박막 코팅에 쓰이는 스퍼터 장비를 공급하고 있습니다.
플라즈마 제어 및 진공 기술을 바탕으로 반도체 제조 장비를 제작합니다. 특히 450mm 반도체 제조용 플라즈마 소스 개발 기술을 보유하고 있으며, 금속 및 세라믹 소재에 대한 정밀 가공과 장비 조립을 직접 수행합니다. 공정 제어 소프트웨어 구축을 포함하여 시스템 설계부터 제작까지 전 과정을 다룹니다.
진공 챔버 및 플라즈마 소스 제어를 위한 각종 시험 설비를 갖추고 있습니다. 2010년 공장을 등록한 이후 450mm급 반도체용 플라즈마 소스 핵심 기술을 개발하며 성장해 왔습니다.