충북 청주시에 있는 디에프텍은 반도체와 디스플레이 제조 공정에 사용하는 각종 장비 부품을 전문으로 제작하고 세정하는 기업입니다.
알루미늄(Al), 서스(SUS), 쿼츠(Quartz), 세라믹 등의 재료를 정밀 가공하고 조립하여 부품을 만듭니다. 2010년부터 청주에서 공장을 운영하고 있으며, 제조 시설 면적은 4,248.2㎡에 달합니다.
이 회사가 만드는 것 가운데 「진공·챔버·세정」 품목은 전국에 313곳, 충북 청주시에 10곳 있습니다.
반도체 제조 장비와 디스플레이 공정 라인에 들어가는 부품을 공급하여, 생산 과정에서 발생하는 오염물을 제거하고 부품의 수명을 연장하는 용도로 쓰입니다.
반도체 및 디스플레이 설비용 부품을 전문적으로 다룹니다. 주요 제품군으로는 정밀 세정 및 특수 코팅 부품이 있으며, 배관 부품, 쿼츠 부품, 세라믹 부품, HBM 캐리어 웨이퍼 등이 포함됩니다. 이러한 부품은 공정 중 발생하는 오염원을 제거하여 장비 가동률을 높이고 고객사의 수율 향상과 원가 절감을 돕는 역할을 합니다.
정밀 세정을 위해 화학적·물리적 방법을 병행하며, 로봇 비드(Robot Bead)와 3D 스캔 자동화 기술을 도입하여 제품 표면의 편차를 최소화하고 공정 표준화를 실현합니다. 또한 초고압 블라스팅(Blasting), 초음파 세정 등을 활용하여 부품 손상 없이 미세한 오염물을 제거합니다. 코팅 기술로는 PVD, APS, SPS 등을 적용하여 파티클 발생을 억제하고 내마모성을 강화하며, 연구개발을 통해 새로운 레이저 세정 및 고집적 공정에 최적화된 세정 솔루션을 지속적으로 개선하고 있습니다.
주요 설비로 케미컬 자동 세정 스테이션(Chemical Auto Clean Station), 고압 워터젯, 초음파 세정기, 진공 오븐 및 전자식 전기로 등을 갖추고 있습니다. 2003년 설립 이후 2007년 기술연구소를 세웠으며, 2010년 청주 본사 및 1공장 신축 이전, 2014년 2공장 준공, 2019년 3공장을 준공하며 생산 체계를 확장해 왔습니다. 현재 청주 지역 내 3개 공장을 운영하고 있습니다.