플라즈마텍은 경기 평택시에 위치하며 반도체 제조 공정 등에서 발생하는 유해한 배기가스나 미세 먼지를 걸러내는 대기오염 방지 설비를 만듭니다.
전장 부품과 스틸을 주요 원자재로 사용하여 정밀가공 및 조립 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 제조 시설 면적은 1,028.4㎡이며, 2020년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔습니다.
이 회사가 만드는 것 가운데 「진공·챔버·세정」 품목은 전국에 313곳, 경기 평택시에 34곳 있습니다.
반도체나 디스플레이 제조 시설에서 발생하는 유해가스를 정화하는 설비라 관련 전자 산업 현장에 필수적으로 설치됩니다.
주요 제품으로는 대형 및 중형 WET-EP 시스템과 플라즈마 스크러버, ZeNoX 등이 있습니다. 대형 WET-EP 시스템은 옥상에 설치되어 코로나 방전 방식으로 미세 먼지와 유해 백연을 처리하며, 중형 WET-EP는 반도체 제조 공장 내부 공간에 설치되어 유지보수와 공정 효율을 높입니다. 플라즈마 스크러버는 반도체 공정에서 나오는 난분해성 유해 가스를 열 플라즈마 기술로 제거하며, 나노 파우더 제조 시스템은 3,000℃ 이상의 고온 아크를 이용해 나노 단위의 분말을 생산합니다.
코로나 방전과 정전 유전체 방식을 활용한 습식 전기집진 기술을 보유하고 있으며, 미세 분무 기술과 유동 해석을 통해 유해 물질 제거 효율을 높입니다. 또한 고전압 전원 장치 설계 기술과 자체적인 세정 시스템 기술을 적용하여 장비의 유지보수 주기를 늘리고 부식 방지 구조를 채택했습니다. 연구개발을 통해 이류체 노즐 분사 시뮬레이션, 질소산화물 탈질 수치 해석, 아크 플라즈마 토치 열유동 해석을 수행하며 가스 분해 반응 환경을 설계합니다.
주요 보유 설비로는 전원 제어반, PLC 제어반, 트랜스포머 정류기 등이 있습니다. 1993년 한국산업으로 시작하여 2000년 현재 사명으로 법인 전환하였으며, 2016년 기계설비공사업과 2008년 대기환경전문공사업을 등록하였습니다. 2020년 평택 진위3산업단지로 사옥을 건축하여 이전하였으며, 이후 대외적으로 환경부 우수환경산업체 지정 및 재지정 등을 받았습니다.