경기 이천시에 위치한 에이에스티엔지니어링은 반도체 제조 장비의 온도 변화를 감지하고 측정하는 정밀 온도 센서와 관련 부품을 전문적으로 생산하는 기업입니다. 제조 공정에서 실시간으로 온도를 모니터링하여 공정의 안정성을 높이는 장치를 주로 만듭니다.
백금 와이어와 금속 와이어, 세라믹 및 웨이퍼 등 다양한 소재를 받아 정밀 가공과 조립 공정을 거쳐 제품을 제작합니다. 2019년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며 제조 시설은 389.4㎡ 규모를 갖추고 있습니다.
이 회사가 만드는 것 가운데 반도체 장비부품 품목은 전국에 673곳, 경기 이천시에 8곳 있습니다.
생산된 온도 센서와 장치는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에 투입됩니다. 웨이퍼나 유리기판의 온도를 정밀하게 제어하는 공정의 핵심 장비에 부품으로 장착되어 생산 효율을 돕는 역할을 수행합니다.
TC 웨이퍼는 반도체 제조 공정 중 웨이퍼의 온도 변화를 측정하는 센서 어셈블리 장비입니다. 프로파일 TC와 스파이크 TC는 장비 내 특정 지점의 온도 분포를 정밀하게 파악하기 위해 사용됩니다. 시스형 온도 센서는 절연 재질로 내부를 보호하여 열악한 환경에서도 안정적인 측온이 가능하도록 구성된 장치입니다.
정밀 본딩 기술과 피복 개선 기술을 사용하여 온도 센서의 재현성과 내구성을 확보합니다. 폴리이미드 코팅 재질을 와이어 피복에 적용해 파티클 발생을 차단하며, PCB 일체형 커넥터 구조로 조립 편의성을 높였습니다. 사용하는 재질은 백금과 알루미나, 석영, 실리카, 몰리브덴, 하스텔로이 등 다양한 금속 및 세라믹 소재를 다룹니다.
2004년 3월 4일에 설립된 이 회사는 정밀 측온 장치 개발을 위한 가공 및 조립 설비를 보유하고 있습니다. 리플로우 타입 온도 측정 장치 개발을 포함하여 지속적인 온도 제어 관련 제품 생산을 이어오고 있으며, 현재 경기 이천시에 본사와 공장을 두고 있습니다.