경기도 화성시에 있는 앤피에스는 반도체와 디스플레이, LED 및 태양전지 생산 공정에 필요한 급속 열처리 장비(RTP)를 제작합니다. 이 장비는 반도체나 디스플레이의 박막을 균일하게 가열하거나 그래핀을 합성하는 등 생산 효율을 높이는 핵심 공정 장비입니다.
정밀가공과 조립 공정을 거쳐 반도체 장비 부품 및 완제품을 생산합니다. 제조 시설 면적은 282.5㎡이며, 2023년부터 해당 위치에서 공장을 운영해 왔습니다.
주력 생산품인 급속 열처리 장비는 반도체, 디스플레이, LED, 태양전지 산업의 제조 공정 중 웨이퍼나 기판을 정밀하게 가열하고 박막을 형성하는 핵심 설비로 사용됩니다.
주력 생산품인 급속 열처리 장비(RTP)는 실리콘 및 사파이어 기판의 어닐링, 메모리와 로직 디바이스용 200mm 웨이퍼 가열 공정에 활용됩니다. 그 외 태양전지 및 그래핀 합성용 열처리 장비, LED 칩 제조용 장비를 공급합니다. 세부적으로는 웨이퍼 회전 모듈, 텅스텐 할로겐 램프 기반의 가열 유닛, 정밀 온도 제어 시스템을 포함하며 각 공정 특성에 맞춘 맞춤형 설비로 구성됩니다.
주요 기술은 고정밀 온도 제어 알고리즘과 전력 제어 하드웨어 설계입니다. 비접촉식 온도계인 파이로미터를 활용하여 실시간으로 온도를 측정하며, 램프 배열과 챔버 내부의 공정 가스 분배를 최적화하여 공정 균일도를 높이는 기술을 갖추고 있습니다. 또한 고온 환경에서도 안정적인 회전을 유지하는 모듈과 진공 및 대기압 공정을 모두 수행할 수 있는 챔버 설계 기술을 적용합니다.
보유 설비로는 정밀 가공 및 조립을 위한 기구 설계와 전장 제어 장치를 갖추고 있습니다. 2007년 설립 이후 2009년 사업장을 이전하였으며, 2011년부터 그래핀 소재부품 관련 국책과제 협약을 체결하고 관련 장비를 개발하였습니다. 2010년 기업부설연구소를 설립하여 열처리 장비 기술을 고도화하고 있습니다.