수원델타플렉스일반산업단지에 자리 잡은 (주)타이닉스는 ICP coil, CCP용 Cathode와 임피던스변환에칭용웨이퍼홀더를 만듭니다. 이 단지에는 제조공장 550곳이 있습니다. 공장은 경기 수원시에 있습니다.
ICP coil, rf Low pass filter, impedance matching box와 vacuum pump를 재료로 반도체·디스플레이 공정, 정밀가공과 조립 공정을 거쳐 만듭니다. 2013년에 자리를 잡아 지금까지 1,522㎡ 터에서 일합니다. 반도체 장비부품 공장 321곳과 견주면 제조시설 넓이가 상위 25%입니다.
반도체 장비부품을 만드는 공장은 전국에 673곳 있고, 경기 수원시에 20곳 있습니다.