경기도 화성시에 위치한 (주)에프에스티는 반도체와 디스플레이 제조 공정의 핵심 장비 및 부품을 생산합니다. 노광 공정에서 회로가 그려진 포토마스크를 외부 오염으로부터 보호하는 펠리클과 공정 장비의 온도를 일정하게 유지하는 칠러 등이 주된 생산품입니다.
SUS나 철판 등의 원자재를 활용하여 정밀가공과 조립 공정을 거쳐 제품을 제작합니다. 2014년부터 공장을 운영하고 있으며 건축면적은 12791.2㎡에 달하는 제조 시설을 갖추고 있습니다.
이 회사가 만드는 것 가운데 「여과·집진·정수」 품목은 전국에 3923곳, 경기 오산시 9곳 있습니다.
반도체 및 FPD 제조 시설의 공정 안정성을 확보하는 장비로, 플랜트·인프라나 에너지·발전 분야의 정밀 기계·산업장비 라인에 주로 적용됩니다.
펠리클은 반도체 노광 공정 시 포토마스크 표면에 이물질이 닿지 않도록 막아 생산 수율을 높이는 핵심 보호 부품입니다. 칠러는 반도체 제조 장비의 온도와 습도를 정밀하게 제어하여 공정 효율을 높이는 장치이며, 제조불량 검사장비는 생산 과정 중 발생하는 결함을 찾아내어 공정 신뢰성을 향상시키는 역할을 합니다.
박막 코팅 기술과 프레임 접합 기술을 기반으로 노광 파장대에 따른 맞춤형 멤브레인 소재를 적용합니다. 고온 및 진공 환경에서도 강한 접착력을 유지하는 특수 접착제 기술을 확보하고 있으며, 청정도 제어 공정을 통해 고투과율과 높은 열안정성을 갖춘 부품을 직접 제작합니다.
본사를 포함하여 동탄과 오산에 사업장을 두고 있으며, 1987년 창립 이후 지속적인 연구개발을 통해 펠리클과 칠러를 국산화했습니다. 이후 공장 증설을 거치며 생산 능력을 확충해 왔으며, 자체 정밀 가공 및 조립 설비를 운영 중입니다.