경기도 용인시에 본사를 둔 보부하이테크는 반도체 제조 공정에 필수적인 핵심 부품을 생산하는 기업입니다. 반도체 웨이퍼를 가공하는 전공정 및 후공정 장비에 들어가는 부품을 전문적으로 제작하여 공급합니다.
알루미늄 원자재와 각종 히터 소재를 가공 및 조립하는 공정을 거쳐 반도체용 부품을 생산합니다. 정밀 가공부터 조립까지 전 과정을 수행하며, 2016년부터 공장을 운영해 왔습니다.
반도체 제조장비 품목을 만드는 공장은 전국에 2,091곳, 경기 용인시에는 82곳 있습니다.
생산된 부품은 반도체 제조 산업의 전공정 및 후공정 장비 내부로 들어가 웨이퍼 가공과 온도 제어를 수행하며 공정의 효율성을 높이는 역할을 합니다.
메탈 히터는 빠르고 균일하게 가열하여 중·저온 환경에서 막질을 처리할 때 사용합니다. 세라믹 히터는 내열성과 열전도성이 높아 고온 공정에 쓰이며, 정전척은 정전기력을 이용해 웨이퍼를 단단히 고정하는 장비입니다.
금속과 세라믹 등 다양한 소재를 다루며 믹싱, 성형, 소결, 본딩, 머시닝, 클리닝 공법을 통해 부품을 제작합니다. 싱글 존과 듀얼 존 히팅 제어 기술을 확보하여 폭넓은 온도 구간에서 부품을 생산하며, 자체 분석 및 계측 설비를 통해 품질을 관리합니다.
내부 정밀 가공 설비와 분석 및 계측 장비를 갖추고 있습니다. 1994년 설립된 이후 2016년 용인 죽전디지털밸리로 사옥을 이전했으며, 경기 광주와 강원 강릉에 제조 시설을 운영하고 중국 무석에 지사를 두고 있습니다.